Система PALET DDB-701 - Настольная литографическая система

Безмасочная настольная литографическая система PALET позволяет быстро и легко проводить процесс литографии и превращать Ваши разработки в реальные устройства. Компактный размер системы, разумная стоимость и простота управления делают данную систему оптимальным выбором для тех, кто хочет воплотить свои идеи в реальной продукции, ведь разработка и тестирование новых устройств – это путь проб и ошибок. Главной концепцией системы фотолитографии PALET является простота её эксплуатации. PALET выполнен в виде компактного настольного блока, к которому подключается ноутбук и контроллер предметного столика. Всё, что нужно для нормального функционирования системы фотолитографии – это обычная однофазная розетка, небольшая «жёлтая комната» и немного места на столе. Большинство заказчиков привыкли к тому, что безмасочные системы литографии довольно компактны, но весьма недёшевы. Система PALET разрушает сложившийся стереотип дороговизны. Приобретая PALET, заказчик получает надёжное, недорогое устройство, которое позволяет решать очень широкий круг задач и одновременно с этим не требует обеспечения охлаждающими жидкостями и сжатыми газами. В самом бюджетном варианте система поставляется с ручным предметным столиком.
- Невысокая стоимость приобретения и владения за счёт правильного подбора компонент
- Экспонируемая область: 25мм?25мм
- Минимальная ширина линии: 3мкм
- Ручной либо моторизованный предметный столик
- Объективы: х10 для высокого разрешения; х2 для высокой скорости экспонирования.

По простоте настройки и управления система фотолитографии PALET во многом схожа с настольным принтером: оператор устанавливает пластину, выбирает паттерн и просто «распечатывает» его на фоторезисте.

Разумная стоимость приобретения и владения
Результаты экспонирования зависят от целого ряда факторов: от фоторезиста (марка, производитель, но¬мер партии, условия хране¬ния, толщина нанесения), материала пластины, условий окружающей среды (температура, влажность), текущих настроек системы фотолитографии и т.п.

Режим тиражирования (Repeat mode) позволяет подобрать оптимальные условия экспонирования путём создания массива одного и того же паттерна с изменением глубины фокуса в одном направлении и интенсивности освещения в другом.

Заполнение пластины
Для рационального использования площади пластины у системы PALET предусмотрен режим наиболее полного заполнения экспонируемой площади (Canvas mode), который позволя¬ет размес¬тить несколько паттернов и для каждого из них задать свои, особые условия экспониро¬вания. В результате Canvas mode позволяет эконо¬мить пласти¬ны, фоторезист и рабочее время оператора. Двойное экспонирование (совмещение)
Моторизованная модель системы фотолитографии PALET может проводить двойное экспонирование, зачастую необходимое при разработке полупроводниковых устройств. Управляющее программное обеспечение позволяет пользователю контролировать правильность совмещения в процессе двойного экспонирования.


Позиционирование пластины по структуре поверхности и данным паттерна. / Полуавтоматическое выравнивание пластины по горизонтали. / Подтверждение правильности совмещения перед экспонированием паттерна. Предметный столик Другие полезные функции:

• Инвертирование «Негатив» – «Позитив»
• Масштабирование паттернов
• Анализ качества поверхности пластины при помощи камеры
• Автоматическая фокусировка перед каждым импульсом