Полюсный наконечник | Сверхвысокого разрешения | Высокого разрешения |
Разрешение по точкам (TEM), нм | 0,19 | 0,23 |
Разрешение по решетке (TEM), нм | 0,1 | |
Разрешение по решетке (STEM-HAADF), нм | 0,14 (автоэмиссионный катод) 0,16 (катод Шоттки) | 0,16 (автоэмиссионный катод) 0,19 (катод Шоттки) |
Ускоряющее напряжение | 80-200кВ 20-200кВ (опция) |
Тип эмиттера | ZrO/W (100) катод Шоттки, либо W <310> автоэмиссионный катод |
Диапазон увеличений | ПЭМ: х20 – х2 000 000 ПРЭМ: х200 – х150 000 000 | |
Максимальный угол наклона образца | ±80° (с использованием держателя высокого наклона) |
Устанавливаемые приставки | Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) – до 2 шт. Спектрометр характеристических потерь энергии электронов Цифровые камеры (ПЗС или КМОП) Система ПЭМ-томографии |