| Разрешение | ||
| В режиме РЭМ | 0,5 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ) | |
| В режиме РПЭМ | 0,2 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ) | |
| В режиме ПЭМ (по решетке) | 0,1 нм (при ускоряющем напряжении 200 кВ) | |
| Увеличение (при использовании 24-дюймового дисплея) | ||
| РЭМ (MAG) | от 100 до 150,000,000 крат | |
| ПРЭМ (MAG) | от 100 до 150,000,000 крат | |
| ПЭМ (MAG) | от 500 до 20,000,000 крат | |
| Источник электронов | ||
| Тип эмиттера | Термополевой эмиттер Шоттки | |
| Ускоряющее напряжение | 100 кВ – 200 кВ | |
| Столик образцов | ||
| Тип столика | Эвцентрический с боковым вводом образца, с пьезоподвижкой | |
| Диаметр образца | 3 мм | |
| Углы наклона | X: ±25° Y: ±30° (при использовании держателя с двойным наклоном) | |
| Диапазоны перемещений | X, Y: ±1,0 мм; Z: ±0,2 мм | |
| Устанавливаемые приставки | ||
| Цифровая ПЗС-камера | Энергодисперсионный спектрометр | Спектрометр характеристических потерь энергии электронов |
 |  |  |
