Оже-микрозонд JAMP-9510F

Оже-микрозонд JAMP-9510F на данный момент обладает самой высокой пространственной разрешающей способностью в мире. Его совершенная электронно-оптическая система позволяет достигать разрешения 3 нм в режиме изображения во вторичных электронах и 8 нм в режиме оже-анализа. Данный микрозонд позволяет получать изображение поверхности образца, используя высокоразрешающий режим вторичных электронов, оценивать однородность материала, регистрируя отраженные электроны, проводить элементное картирование при помощи энергодисперсионного спектрометра или оже-анализатора, а также изучать поля механических напряжений и разориентацию кристаллитов, используя систему дифракции отраженных электронов.

Двумя ключевыми преимуществами оже-микрозонда JAMP-9510F над растровыми электронными микроскопами являются:

• высочайшая чувствительность по легким элементам, не достижимая в РЭМ;
• возможность проводить ионное травление образца и анализировать изменения его фазового состава с глубиной.

JAMP-9510F штатно комплектуется ионной пушкой усовершенствованной конструкции. Она позволяет не только очищать поверхность образца или проводить травление при послойном оже-анализе, но и мягко снимать заряд, накопившийся на непроводящем образце. Также, по требованию заказчика, микрозонд может быть дооснащен приставкой для нагрева образца до 600°С и камерой холодного скола для получения атомарно чистых поверхностей.

Основные преимущества:

• Сверхвысокий вакуум в камере образцов полностью исключает загрязнение поверхности образца углеводородами и позволяет беспрепятственно проводить анализ даже таких легких элементов, как литий, бериллий, бор, углерод, азот и кислород;
• Стабильная, высоконадежная электронно-оптическая колонна JAMP-9510F позволяет добиваться высоких разрешений даже на больших рабочих отрезках (3 нм в режиме регистрации вторичных электронов и 6 нм в режиме регистрации отраженных электронов на рабочем отрезке 25 мм);
• Термополевой катод Шоттки обладает большим сроком службы (несколько лет), обеспечивает очень яркий пучок электронов с малым разбросом по энергиям и высокий ток пучка (до 200 нА);
• Электростатический полусферический анализатор позволяет работать как в одноканальном режиме высокого энергетического разрешения, так и в многоканальном режиме высокой чувствительности;
• Ионная пушка новой конструкции позволяет не только проводить ионное травление поверхности образца, но и исследовать непроводящие материалы;
• Большой столик образцов позволяет работать с объектами диаметром до 95 мм;
• Возможность устанавливать множество разнообразных приставок (энергодисперсионный спектрометр, система дифракции отраженных электронов, камера холодного скола, система нагрева образца и т.п.)
• Возможность наклона образца под высокими углами, что особенно важно при работе с непроводящими образцами и при регистрации картин дифракции отраженных электронов;
• Высокое энергетическое разрешение оже-анализатора, позволяющее регистрировать химические сдвиги линий элементов и точно устанавливать фазовый состав образцов.