Стабильная, надежная электронно-оптическая колонна обеспечивает высокое разрешение (1,2 нм при 30 кВ в режиме регистрации вторичных электронов) и позволяет анализировать морфологию объектов наномира. Термополевой катод обеспечивает высокие и стабильные токи пучка, что позволяет проведение экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.). Режим торможения пучка над поверхностью образца делает JIB-4610F прекрасным инструментом для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами.
Ионная колонна JIB-4610F сконструирована компанией JEOL специально для систем такого класса. Она отличается высокой надежностью, обеспечивает высокое разрешение изображений при работе в режиме наблюдения и высокие токи пучка (до 90 нА) при работе в режиме травления.
Помимо всех типов исследований, традиционно проводимых с помощью РЭМ, JIB-4610F позволяет обрабатывать ионами и утонять образцы, предназначенные для дальнейших исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проверять их качество. После проверки и/или обработки образцов в JIB-4610F, их можно переносить в ПЭМ или РЭМ напрямую, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений.
JIB-4610F комплектуется шлюзовой камерой, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, существенно продлевает срок службы эмиттеров и диафрагм обеих колонн.
Двухлучевую систему JIB-4610F можно дооснастить множеством разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями электронных микроскопов и микроанализаторов, даже старых моделей. Подключение таких опций, как энергодисперсионный спектрометр и детектор дифракции отраженных электронов, позволяет проводить послойный анализ элементного и фазового состава образцов.
| Ионная колонна | |
|---|---|
| Источник ионов | галлиевый |
| Ускоряющее напряжение | 1 - 30 кВ |
| Увеличение | x50 (в режиме навигации по образцу) x100 – x300 000 |
| Разрешение изображений во вторичных электронах | 4 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Ток пучка | от 0,5 пА до 90 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
| Апертурная диафрагма | 16-позиционная, моторизованная |
| Электронно-оптическая колонна | |
| Источник электронов | Термополевой катод Шоттки (ZrO/W) |
| Ускоряющее напряжение | 0,1 - 30 кВ |
| Увеличение | x20 – x1 000 000 |
| Разрешение изображений во вторичных электронах | 1,2 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ и рабочем отрезке 4 мм) 3,0 нм (при ускоряющем напряжении 1 кВ и рабочем отрезке 2 мм) |
| Ток пучка | от 1 пА до 200 нА (при ускоряющем напряжении 15 кВ) |
| Режим торможения пучка над поверхностью образца (Gentle Beam) | Доступен. Напряжение смещения: 0-300 В |
| Столик для образцов | |
| Тип столика для образцов | Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 6-ти осям |
| Диапазоны перемещений столика для образцов | Ось X: 50 мм Ось Y: 50 мм Ось Z: от 1,5 до 40 мм Прецизионное позиционирование по оси Z: ±3 мм Наклон: от -5° до +70° Вращение: 360°, непрерывное |
| Максимально допустимые размеры образцов | Диаметр – 50 мм, высота – 20 мм |
| Камера образцов | |
| Доступные опции | Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС) Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ) Детектор катодолюминесценции Микроманипуляторы Omniprobe Системы напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной Криогенный столик образцов |
| Вакуумная система | Сорбционно-ионный насос – 3 шт. Турбомолекулярный насос – 1 шт. Форвакуумный насос – 1 шт. |
