Системы химического осаждения из паров металлоорганических соединений (MOCVD)

1) Камера эпитаксиального роста.
2) Камера загрузочной системы.
3) Камера предварительной обработки.
4) Система управления и подачи газами.

Уникальная система управления газами обеспечивает прецизионную подачу газовой смеси высокой чистоты в модуль эпитаксиального роста. Запатентованная система инжекторов паров металлоорганических соединений обеспечивает минимальный расход газов во время процесса выращивания на подложках до 6-ти дюймов.