| Описание | EW-3 | EW-10 | EW-100 | EW-500 | |
| Ростовая камера | Размеры | 305х250 Д х В, мм | 406 х 450 Д х В, мм | 560 х 500 Д х В, мм | 560 х 600 Д х В, мм |
| Предельное давление | 10-7 Па | 10-8 Па | |||
| Держатель подложки | Размер подложки | 1" в диаметре | 2" в диаметре | 3" в диаметре | 4" в диаметре |
| Максимальная температура | 1000°C (танталовый нагреватель) / 800°C (ламповый нагреватель) | ||||
| Ось X | - | ±5мм | |||
| Ось Y | - | ±5мм | |||
| Ось Z | ±10мм | ||||
| Наклон | ±2° | ±3° | |||
| Поворот в плоскости | 360° (моторизированное) | ||||
| Откачка системы | ТМН | 345 л/с | 1400 л/с | ||
| Роторный насос | 162 л/мин | 345 л/мин | |||
| Камера загрузки образцов | Предельное давление | 10-4 Па | 10-5 Па | ||
| Количество загружаемых подложек | 2 шт. | 2 шт. | 2 шт. | 4 шт. | |
| ТМН | 55 л/с | 55 л/с | 345 л/с | ||
| Роторный насос | 90 л/мин | 90 л/мин | 162 л/мин | ||
| Загрузка подложки | Загрузочный шток (магнитный или реечный тип подачи) | ||||
| Система отжига | Температура нагрева | Макс. 200°C | |||
| Нагреватель | Ламповый нагреватель или нагреватель обшивочного типа для камеры | ||||
| Опции | Контроль системы осаждения | Ручной или автоматизированный | |||
| Измеритель толщины | Встроенный сенсор или осциллятор | ||||
| Компоненты | RHEED, эффузионная ячейка, электронная пушка, др. | ||||
| Описание | EV-50 | EV-100 | EV-500 | |
| Ростовая камера | Размеры | 406 х 450 Д х В, мм | 560 х 500 Д х В, мм | 560 х 600 Д х В, мм |
| Предельное давление | 10-8 Па | |||
| Держатель подложки | Размер подложки | 2" в диаметре | 3" в диаметре | 4" в диаметре |
| Максимальная температура | 1000°C (танталовый нагреватель) / 800°C (ламповый нагреватель) | |||
| Ось X | ±5мм | |||
| Ось Y | ±5мм | |||
| Ось Z | ±10мм | |||
| Наклон | ±3° | |||
| Поворот в плоскости | 360° (моторизированное) | |||
| Откачка системы | ТМН | 1400 л/с | ||
| Роторный насос | 345 л/мин | |||
| Камера загрузки образцов | Предельное давление | 10-5 Па | 10-5 Па | |
| Количество загружаемых подложек | 2 шт. | 2 шт. | 4 шт. | |
| ТМН | 55 л/с | 345 л/с | ||
| Роторный насос | 90 л/мин | 162 л/мин | ||
| Загрузка подложки | Загрузочный шток (магнитный или реечный тип подачи) | |||
| Система отжига | Температура нагрева | Макс. 200°C | ||
| Нагреватель | Ламповый нагреватель или нагреватель обшивочного типа для камеры | |||
| Опции | Контроль системы осаждения | Ручной или автоматизированный | ||
| Измеритель толщины | Встроенный сенсор или осциллятор | |||
| Компоненты | RHEED, эффузионная ячейка, электронная пушка, др. | |||
