Системы электронно-лучевого и магнетронного осаждения (EB, MS)

Описание
Спецификация ES

Основные особенности:

1. Оснащение вращающим держателем с одновременным нагревом подложки.
Скорость вращения подложки регулируется на LCD панели управления. Подложку можно нагревать до 800°C при любом вакуумном давлении с помощью лапового нагревателя. Охлаждение подложки – опция.

2. Распыление от 3 до 10 мишеней.
EIKO Co. разработала уникальную технологию позиционирования до 10 мишеней и позволяет распылять мишень с помощь метода DC и RF. Замена мишени выполняется с помощью программного обеспечения на LCD панели управления.

ПО управление на 5 мишеней

Общий вид механизма позиционирования мишеней

3. Непрерывная подстройка расстояние между мишенью и подложкой.

Расстояние между мишенями и подложкой легко изменяется и подстраивается на расстоянии от 100 мм до 150 мм с шагом 10 мм и выставляется на LCD панели управления.

ПО управление расстоянием между мишенью и подложкой

4. Большой выбор аксессуары и опции.

RF и DC источники распыления

Радиальный источник

ПО для автоматического многослойного осаждения

Под специализированные задачи компания EIKO Co. предлагает системы с использованием подложек на 6 и 8 дюймов:

Модель ES-610

Модель ES-830

Описание		ES-250B	ES-350L	ES-380WL	ES-480L
Камера	Размеры	450х350 Д х В, мм	530 х 450 Д х В, мм	625 х 450 Д х В, мм	950 х 500 Д х В, мм
	Предельное давление	10^-5 Па
Держатель подложки	Размер подложки	100 мм квадратная	3" в диаметре		4" в диаметре
	Максимальная температура	800°C (ламповый нагреватель)
	Ось Z	-	50мм варьируемое
	Вращение в плоскости	10 и 15 рад./мин. (2-х шаговое переключение)
Мишень	Количество мишеней	5		8
	Размер мишени	2" в диаметре	3" в диаметре		4" в диаметре
	Замена мишени	С помощью специализированного устройства
Источник распыления	RF	300 Вт	500 Вт
	Подстройка	Ручной	Автоматический
	DC	1 кВт
Подача газа	Контроллер расхода газа	50 до 100 см³/мин (максимально 4 линии)
Откачка системы	ТМН	345 л/с		850 л/с	1400 л/с
	Роторный насос	162 л/мин		250 л/мин	345 л/мин
Камера загрузки образцов	Предельное давление	Опция	10^-4 Па
	Количество загружаемых подложек		2 шт.		5 шт., Моторизированное
	ТМН		55 л/с		345 л/с
	Роторный насос		90 л/мин		162 л/мин
	Загрузка подложки		Загрузочный шток (магнитный или реечный тип подачи)
Опция	Сверхвысокий вакуум	Сверхвысокий вакуум достигается за счет дополнительной внешней системы отжига камеры (обшивочного типа)