Многокамерная система MBE-MOCVD-ALD

Исходя из потребностей и задач пользователей компания EIKO Co. проектирует и разрабатывает специализированные комбинированные высоковакуумные системы MBE–MOCVD–ALD, что позволяет обеспечить высококачественное осаждение и выращивание уникальных материалов и многослойных структур.